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光刻胶化学成分检测



光刻胶又称光致抗蚀剂,是一种光照后能改变抗蚀能力的高分子化合物。一般情况下,光刻胶是带有芳香味的具有一定黏度及颜色的液体。光刻胶以液态涂覆在硅片表面上,曝光后烘烤成固态。光刻胶的作用是将光刻板上的图形转移到硅片表面的氧化层中,在后续工序中,保护下面的材料。

光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂等主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。光刻胶成分分析是运用科学方法分析产品的成分,并对各个成分进行定性定量,对现有产品配方进行改进,升级优化,提高研发进度,减少研发成本。

适用范围

PCB光刻胶、 面板光刻胶 、 半导体光刻胶等

光刻胶主要由以下多个成分组成

(1)感光剂。感光剂是光刻胶的核心部分,感光剂经光照后,在曝光区能很快地发生光固化反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。曝光时间、光源所发射光线的强度都根据感光剂的特性来决定。

(2)增感剂。感光剂的感光速度都较慢,生产上效率太低,因此向光刻胶中添加了提高感光速度的增感剂。

(3)溶剂。感光剂和增感剂都是固态物质,为了方便涂覆,要将它们加入溶剂进行溶解,形成液态物质。

(4)添加剂。添加剂用以改变光刻胶的某些特性,如为改善光刻胶发生反射而添加染色剂等。

可能用到的仪器设备

气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)

液相色谱-质谱联用仪(LC-MS)

高分辨液相色谱-质谱联用仪(LC-MS-MS)

液体核磁(NMR)

裂解气相色谱质谱联用(PY-GC-MS)

X射线荧光光谱分析仪(XRF)等



发布时间:2024-11-30
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