为什么防静电屏蔽包要做ESD测试第三方检测中心防静电检测

近年来，随着科学技术的飞速发展、微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂，静电放电造成的故障及危害也变加普遍，尤其对于静电数感产品，通常将其放置于防静电屏蔽包装袋中储藏、运输，使其免受静电干扰，防静电屏蔽包装袋通常为三层结构，其内层为静电耗微材料，中间层为屏蔽层的铝箔，外层为耐磨加固层。防静电屏蔽包装袋性能的好坏，直接影响到所包装产品的质量，故对防静电屏蔽包装袋的静电屏蔽性能进行测试尤为重要，由于静电放电是一个复杂多变的过程，再加上静电放电有许多不同的放电形式，产生静电放电的静电源多种多样，而且同一静电源对不同的物体放电时产生的結果也不一样，会受温湿度、电磁场等环境的影响。为了方便分析，统一测试的基准，需要建立静电放电模型。针对静电放电现象，理论上可以分为许多模型，*常见的就是人体模型（HBM），机器模型（MM）和带电器件模型（CDM），由于防静电屏蔽包装袋更多的是人体按触造成的静电放电，因此本文针对防静电屏蔽包装袋的测试主要以人体模型（HBM）为准静电场屏蔽和静电放电屏蔽是不同的概念，静电场屏蔽是拓限制静电场的穿透作用，静电放电屏蔽是拍限制静电放电产生的电磁能量穿透作用，由于静电放电过程中电磁场快速变化，有电磁能量通过近场耦合，进入包装袋，所以，静电防护中的“静电放电感应能量”参数成为评价防静电屏蔽包装袋的主要技术招标，标准ANSI/ESDSTM11.31-2006推荐的测量装置中要求感应能量小于50nJ

2目前的测试方法

目前，国内检测市场上有两种测试防静电屏蔽包装袋的方法：表面电阻测试方法和静电感应峰值电压测试方法.表面电阻测试方法是对防静电屏蔽包装袋内、外表面的电阻进行测试，国军标GJB2605-96《可热封柔韧性防静电阻隔材料规范》要求其内表面电阻率为1.0×105Ω-1.0×1012Ω，外表面电阻牢为小于1.0×

1012Ω，该方式只能测试防静电屏蔽包装袋内、外层表血电阻，而并非是针对防静电屏芯包装袋屏芯层的测试，故测试结果并不能反应防静电屏蔽包装袋的静电屏蔽力面的性能，测试结果与屏蔽性能测试要求存在差距。静电感应峰值电压测试根据GJB2605-96，其结构示意图。静电屏蔽感应峰值电压测试装置包括由200p F充电电容和400kQ放电电阻组成的ESD模拟器、电极极板、电容探头、测量探头和示波器。测量探头应具有高的阻抗（不小于1×107Ω）和低的电容（不大于5pF），电容探头是镶在一块地缘材料上的厚1.5mm的金属板试验装置是一个包括上部一块22mm-38mm的金属接触板和一块用以支撑被试样品与电容探头的适当尺寸的接地金属板。置电容探头于试验袋内，其中心约在试验袋开口端内侧50mm处，并将它们放置在试验装置的上下金属板之间，试验装置的夹具应设计成使得被试部分在足够的加紧力作用下得到充分的平行按触。试验电压1000v，使电容充电，然后利用转换开关经由电阻器通过被试材料放电，以测试的峰值电压不高于30

V为合格标准，电极极板随着ESD模拟密放电电流产生一个变化的电场，电容探头感应放电电极与地电极之间静电放电过程中静电屏蔽包装袋内部的感应电压变化，该感应电压被测量探头检测并传输至示波器进行采集，根据示波器采集的电压波形得到该感应电压峰值。该静电感应电压测试装置中的测量探头测得的感应电压信号为示波器两通道之间的差值，即电容探头的两探头之间的信号之差。但随着波形衰减越快，相应的两信号的差值（感应电压信号）会变小，从而快测得的感应电压不易确定而且该装置中的ESD模拟塞静电放电脉冲的测试要求示波器的带宽为50MHz，并不能全面反映防静电屏蔽包装袋在静电放电ESD脉冲充频带（1Hz-

1GHz）情况下的屏芯效果。因此，此测试方法有一定的局限性和不完整性。

3感应能量法测试原理

国内在防静电屏蔽包装袋检测上就是使用的表面电阻测试方法和静电感应峰值电压测试方法。静电感应峰值电压值越低说明包装袋屏蔽性能越好。常用的静电屏蔽测试仪器有ACL-500、ETS-431型等，都是以测量到的感应峰值电压作为指标的。表面电阻测量方法通过测量材料的表面电阻值鉴定材料的优劣。常用的仪器有EST121等高阻计，为了全面准确地衡量防静电屏蔽包装袋的性能，根据关国标ANSI/ESDSTM11.31-2006提供一种新型防静电屏蔽包装袋测试方法研制的一种新型测试防静电屏蔽包装袋的装置，利用感应能量测试的方式能够准确测量并读取防静电屏蔽包装袋内的感应能量，并确定防静电屏蔽包装袋性能的优劣，且分辨力高。测试原理图（图略）。本测试装置包括ESD模拟器（100pF，1.5kΩ）、放电电极、地电极、8pF电容探针、500Ω低感电阻和电流探针。低感电阻与电容探针成上下两平行极板形成放电回路，即电容探针并联低感电阻，电流探针设置于放电回路中并与示波器相连。当ESD模拟器充电1kV，模拟实际脖电放电时，电极极板碰着ESD模拟器放电电流产生变化电场，防静电屏蔽包装袋内的电容探针感应到放电电极与地电极之间静电放电过程中防静电屏蔽包装袋内部的感应电压变化的过程。在此过程中，电容探针与低感电阻形成放电回路，低感电阻流过的电流变化过程被放置于放电回路中的电流探针检测并将其传输给示波器进行采集，并进一步利用能量计算式（1）将采集到的电流波形数据进行计算，得到电容探针感应的能量值（式略）。

在电容探针与低感电阻形成的故电回路中，由于低感电阻的感抗值非常低，使得其电感部分的影响小，电感对感应电流的影响也非常小，可以忽略对测试結果的影响，低感电阻的电阻值接近理想。采用电流探针避免了现有的静电感应峰值电压测试中由于测量探头测量感应电压信号时存在的误差以及其局限性，也不存在静电电阻测试装置由于只能测试防静电屏蔽包装袋内外表面电阻而造成的测试结果存在缺陷的问题。由于有防静电屏蔽包装袋的屏蔽，大部分放电能量被屏蔽层屏蔽，只有很小一部分能量通过防静电屏蔽包装袋，被内部设置的电容探针感应到，并通过低感电阻进行能量释放。美国标ANSI/ESDS541-2003要求感应的能量小于50n为合格标准。根据式（2）得到总的放电能量为50μJ，因此，渗透到防静电屏蔽包装袋内部的能量大概占总能量的1/1000，也就是说，能够屏蔽绰999/1000的静电放电能量的包装袋是合格的防静电屏蔽包装袋。

质海检测

4结束语

采用感应能量的测量方法代替目前普遍采用的感应电压与测量表面电阻的方法，避免了感应电压测量方法与测量表面电阻方法的局限性，如：1）使用的ESD模拟器ESS-2002采用的是国内外通用标准人体模型（HBM，100pF电容和1.5kΩ电阻），而感应电压测试方法使用的是200pF电容和400kΩ电阻（EIA-5411988规定）.2）

使用的电流探针能够充服电压探针带来的干扰误差，电压探针测得的感应电压信号为示波器两道道之间的差值（即平板电容探头两探针的信号之差），这种方式的两个电压探针会导致测量误差。3）感应电压方法中，人体模型静电放电脉冲的测量要求示波器的带究为50MHz，不能全面反映测量材料在静电放电ESD脉冲充频带（1

Hz-1GHz）情况下的屏获效果，而此方法使用的是200MHz以上带宽和500MS/s以上采样牢的示波器，测量范围得到了加强，加大了频率覆盖范围，提升了采样点，减小了测量误差。4）*终能够伤害屏蔽袋内部器件是能量。因此，用测量渗透到袋内能量的大小来衡量屏蔽性能的优劣比较客观科学。