薄膜物性测试 塑料成分分析测试 可降解配方成分工业还原试验机构

 薄膜成分分析方法:

1、X射线光电子能谱；（10纳米，表面）；

2、俄歇电子能谱；（6nm，表面）；

3、二次离子质谱；（微米，表面）

4、电子探针分析方法；（0.5微米，体相）

5、电镜的能谱分析；（1微米，体相）

6、电镜的电子能量损失谱分析；（0.5nm）

为达此目的，成分分析按照分析手段不同又分为光谱分析、质谱分析和能谱分析。

（1）光谱分析

主要包括火焰和电热原子吸收光谱AAS，电感耦合等离子体原子发射光谱ICP-OES，X-射线荧光光谱XFS和X-射线衍射光谱分析法XRD；

（2）质谱分析

主要包括电感耦合等离子体质谱ICP-MS和飞行时间二次离子质谱法TOF-SIMS。

（3）能谱分析

主要包括X射线光电子能谱XPS和俄歇电子能谱法AES